样品1
样品2
样品3
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针对片式元器件体积小,对特定的观测面不好掌握,容易磨过头的情况,我们借助了Smoothneer-6的定量磨削功能,该功能可以对样品的磨削去除量精确50µm~5000µm的控制。
Smoothneer-6金相自动磨抛一体机 磨削量控制界面
以下是制样方法:
镶嵌:
MC003免真空清透冷镶套装 镶嵌好的样品
磨抛:
磨抛步骤 |
粗磨 |
精磨 |
中抛 |
金刚石精抛 |
金刚石终抛 |
|
1 |
表面 |
SiC砂纸 |
SiC砂纸 |
SiC砂纸 |
GD-PCC 醋化缎面 |
GD-PCV 绒布(红短绒) |
2 |
磨粒粒度 |
800# |
1200# |
4000# |
3μm |
1μm |
3 |
抛光/润滑液 |
- |
- |
- |
DS001高性能多晶金刚石悬浮液 |
DS001高性能多晶金刚石悬浮液 |
4 |
压力 |
25N |
25N |
25N |
20N |
15N |
5 |
转速 |
300 |
300 |
300 |
150 |
150 |
6 |
时间/min |
2 |
3 |
3 |
3 |
2 |
以上推荐参数取自:自动磨抛机Smoothneer-6 上Ф250 mm 工作盘的Ф30 mm 的塑料的样品制备方法。
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